• <tt id="4vykq"></tt>
    <source id="4vykq"><nav id="4vykq"></nav></source>
  • <b id="4vykq"><tbody id="4vykq"><del id="4vykq"></del></tbody></b>
  • <track id="4vykq"><mark id="4vykq"></mark></track>
  • <rt id="4vykq"><nav id="4vykq"><strike id="4vykq"></strike></nav></rt>
      1. <tt id="4vykq"><form id="4vykq"></form></tt>

        歡迎來到中山市凱美電子有限公司!售前咨詢服務熱線:0760-85898373 13822768980

        產品展示

        聯系我們

        地址:廣東省中山市三鄉鎮鴉崗西邊嶺3號4樓

        聯系人:王衡

        電話:13822768980

        E-mail:kevin@kvmen.com

        案例展示您當前所在的位置:首頁>>案例展示

        應用管式PECVD


        石英管外部加電感線圈,射頻功率加載在線圈上,石英管兩端密封,抽真空,通過電感耦合方式,射頻功率會耦合到石英管內部,石英管真空度在10-60帕之間,射頻功率使石英管內部含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學活性很強,很容易發生反應,在基片上沉積出所期望的薄膜。

        國內傳統射頻匹配器在應用此類設備的過程中,在管內氣壓或者氣體變化的時候,匹配器跟蹤會出現紊亂的情況,導致失配,從而使制程出現異常,我司射頻匹配器采用數字算法,無論氣壓或者氣體變化,總能夠及時跟蹤,實時進行匹配。目前我司的射頻電源和自動匹配器,已經廣泛應用于國內各大科研設備制造商。

        国产最爽的乱婬视频国语对白,精品人妻中文字幕有码,国产精品午夜无码AV免费看,日韩专区av
      2. <tt id="4vykq"></tt>
        <source id="4vykq"><nav id="4vykq"></nav></source>
      3. <b id="4vykq"><tbody id="4vykq"><del id="4vykq"></del></tbody></b>
      4. <track id="4vykq"><mark id="4vykq"></mark></track>
      5. <rt id="4vykq"><nav id="4vykq"><strike id="4vykq"></strike></nav></rt>
          1. <tt id="4vykq"><form id="4vykq"></form></tt>