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        氣體質量流量控制器


        WARWICK?系列氣體質量流量控制器(MFC)產品是經過實踐驗證的適合多種應用場合的標準產品,流量精準度及性價比高,先進的傳感器和閥控技術,經過實地應用驗證的平臺組件以及高速的模擬/數字線路帶來最精準的氣體流量控制,可以滿足客戶在數值和功能上對于MFC的不同要求。適用于半導體,平板顯示,數據存儲,真空工業,ICP光譜設備及太陽能晶硅制程等不同行業。

        規格

        MC-AN600

        MC-AN601

        MC-AN602

        MC-AN610

        MC-AN611

        量程范圍

        單氣體 2-5000SCCM

        單氣體 5-50SLM

        單氣體   30-200SLM

        單氣體2-5000SCCM

        單氣體  5-50SLM

        閥門類型

        常開式或常閉式螺線管

        接頭

        1/4VCR1/4Swagelok

        密封

        橡膠

        金屬

        響應時間

        到達設定點±2%所需時間≤1SEC

        3SEC

        到達設定點±2%所需時間≤1SEC

        精確性

        ≤滿量程1%

        ≤滿量程2%

        ≤滿量程1%

        線性度

        ≤滿量程±0.5%

        ≤滿量程±1%

        ≤滿量程±0.5%

        重復性

        ≤滿量程±0.2%

        壓差

        7-40PSI

        21-40PSI

        7-40PSI

        漏率

        MAX:1X10ˉ7PA.M3/SECHE

        MAX:1X10ˉ11PA.M3/SECHE

        控制范圍

        滿量程的2-100%

        最高操作壓力

        50PSI

        承受壓力

        最大值150PSI

        通訊模式

        模擬0-5V/4-20MA

        輸入電壓

        +15VDC ±2% at 50MA         -15VDC ±2% at 150MA

        控制信號

        0-5VDC/4-20MA

        輸出模擬信號

        0-5VDC/4-20MA

        功耗

        3.1W

        3.5W

        3.1W

        溫度范圍

        5-45°

        材料

        316LSS,316SS,PTFE,KM45

        重量

        0.9KG

        2.2KG

        1.0KG

        1.2KG

         


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